%0 Conference Paper %A Денисюк, Р. О. %A Томашик, З. Ф. %A Томашик, В. М. %A Чернюк, О. С. %A Гриців, В. І. %B 3-тя Міжнар. наук.-тех. конф. „Сенсорна електроніка та мікросистемні технології” %C Одеса %D 2008 %F zu2:8616 %P 352 %T Формування полірованих поверхонь монокристалів твердих розчинів Cd1-xМnxTe йодвиділяючими сумішами на основі Н2О2 – НІ %U http://eprints.zu.edu.ua/8616/ %X В даній роботі досліджено процеси хімічного травлення поверхні твердих розчинів складу Cd1-хMnхTe (де х = 0,04; 0,2; 0,3 та 0,5) в травильних композиціях систем Н2О2–НІ–органічна кислота, вивчено концентраційні залежності швидкості травлення вказаних напівпровідникових матеріалів, стан поверхні після травлення методами металографічного і профілографічного аналізів.