relation: http://eprints.zu.edu.ua/8658/
title: Хімічна взаємодія монокристалів GаАs, GаSb, InAs та ІnSb з водними розчинами Н2О2–HBr
creator: Шелюк, І. О.
creator: Томашик, З. Ф.
creator: Томашик, В. М.
creator: Стратійчук, І. Б.
creator: Денисюк, Р. О.
subject: QD Хімія
description: Досліджено хімічну взаємодію монокристалів GаАs, GаSb, InAs, InAs (Sn) та ІnSb з водними розчинами Н2О2–HBr. Встановлено залежність швидкості їх розчинення від складу травників, перемішування, температури та визначено лімітуючі стадії процесу розчинення. Оптимізовано склади поліруючих травників і режими хіміко-динамічного полірування поверхні вказаних напівпровідникових матеріалів.
publisher: Прикарпатський національний університет ім. Василя Стефаника
date: 2011-03-15
type: Стаття
type: PeerReviewed
format: text
language: uk
identifier: http://eprints.zu.edu.ua/8658/1/C_10_Shelyuk_Tomashyk_G%5B1%5D.pdf
identifier:   Шелюк, І. О., Томашик, З. Ф., Томашик, В. М., Стратійчук, І. Б., Денисюк, Р. О.  (2011) Хімічна взаємодія монокристалів GаАs, GаSb, InAs та ІnSb з водними розчинами Н2О2–HBr.  ФІЗИКА І ХІМІЯ ТВЕРДОГО ТІЛА, 12 (2).  с. 411-415.  ISSN 1729-4428     
language: ukraine