Електронна бібліотека Житомирського державного університету: Ніяких умов. Результати впорядковані-Дата внесення. 2024-03-29T13:03:23ZEPrintshttp://eprints.zu.edu.ua/images/logo2.gifhttp://eprints.zu.edu.ua/2015-04-09T21:16:15Z2015-04-09T21:20:42Zhttp://eprints.zu.edu.ua/id/eprint/16866Цей елемент знаходиться в архіві з URL: http://eprints.zu.edu.ua/id/eprint/168662015-04-09T21:16:15ZХімічне травлення поверхні монокристалів GaAs, GaSb, InAs та InSb травильними композиціями Н2О2–НBr–цитратна кислотаІ. О. ШелюкЗ. Ф. ТомашикВ. М. ТомашикР. О. Денисюкdenisuk@zu.edu.uaІ. Б. Стратійчук2012-12-07T11:42:00Z2015-08-15T02:43:40Zhttp://eprints.zu.edu.ua/id/eprint/8658Цей елемент знаходиться в архіві з URL: http://eprints.zu.edu.ua/id/eprint/86582012-12-07T11:42:00ZХімічна взаємодія монокристалів GаАs, GаSb, InAs та ІnSb з водними розчинами Н2О2–HBrДосліджено хімічну взаємодію монокристалів GаАs, GаSb, InAs, InAs (Sn) та ІnSb з водними розчинами Н2О2–HBr. Встановлено залежність швидкості їх розчинення від складу травників, перемішування, температури та визначено лімітуючі стадії процесу розчинення. Оптимізовано склади поліруючих травників і режими хіміко-динамічного полірування поверхні вказаних напівпровідникових матеріалів.І. О. ШелюкЗ. Ф. ТомашикВ. М. ТомашикІ. Б. СтратійчукР. О. Денисюк