Денисюк, Р. О., Томашик, В. М., Томашик, З. Ф., Гриців, В. І.
(2012)
Хімічна взаємодія Cd1-xMnxTe з травильними композиціями Н2О2 – НІ – лактатна кислота.
Фізика і хімія твердого тіла, 13 (2).
с. 410-414.
ISSN 1729-4428
Опис
У відтворюваних гідродинамічних умовах досліджено кінетику розчинення CdTe та Cd1-xMnxTe в
травниках системи НІ – Н2О2 – лактатна кислота. Побудовано поверхні однакових швидкостей розчинення
(діаграми Гіббса), встановлено області поліруючих, селективних та не поліруючих розчинів, визначено
лімітуючі стадії процесу полірування вказаних напівпровідників. Встановлено швидкості хіміко-механічного
полірування розчинами Н2О2 – НІ – лактатна кислота, визначено вплив розведення базових поліруючих
травників в’язкими розчинниками на поліруючі властивості та якість поверхні кристалів Cd1-xMnxTe.
Actions (login required)
 |
Перегляд елементу |
