Томашик В. М., Чернюк О. С., Гриців В. І., Томашик З. Ф., Кусяк Н. В.
(2003)
Розчинення GaSb у розчинах системи H2O2–HCl–CH3COOH.
Фізика і хімія твердого тіла, 4 (3).
С. 543–546.
ISSN 1729-4428
Анотація
Побудовано поверхню рівних швидкостей розчинення (діаграма Гібса) і вивчений механізм хімічної взаємодії GaSb з розчинами системи H2O2-HCl-CH3COOH. Показано, що основним окисним агентом є хлор і, можливо, хлорвмісні сполуки, що утворюються при взаємодії компонентів травильної композиції.
Встановлено, що процес розчинення GaSb у зазначених розчинах визначається переходом у розчин сполук стибію, причому одночасно протікає як хімічне окисно−відновне, так і електрохімічне розчинення. Розчини
системи H2O2-HCl-CH3COOH можуть бути основою для розробки поліруючих травильних композицій з невеликою швидкістю розчинення GaSb.
Actions (login required)
 |
Оглянути опис ресурсу |
