Денисюк Р. О., Томашик В. М., Томашик З. Ф., Чернюк О. С., Гриців В. І.
(2009)
Chemical treatment of monocrystalline cadmium telluride and Cd1-xMnxTe solid solutions by H2O2 – HI – citratic acid etchant compositions.
Semiconductor Physics, Quantum Electronics & Optoelectronics, 12 (2).
С. 125–128.
ISSN 1560-8034
Анотація
У відтворюваних гідродинамічних умовах досліджено характер розчинення CdTe та Cd1-xMnxTe в розчинах системи НІ – Н2О2 – цитратна кислота. Побудовані поверхні однакових швидкостей розчинення (діаграми Гіббса), визначені лімітуючі стадії процесу розчинення вказаних напівпровідників. Встановлено області поліруючих, селективних та не поліруючих розчинів у вказаних системах. Виявлено, що внесення в твердий розчин Mn призводить до зменшення швидкості травлення та збільшення діапазону поліруючих розчинів.
Actions (login required)
 |
Оглянути опис ресурсу |
