Ткаченко А. К., Новицкий С. В., Шеремет В. Н. (2012) Влияние быстрого термического отжига и СВЧ на удельное сопротивление омических контактов к InP и GaAs. Материалы конференции. [Международная научно-техническая конференция «Фундаментальные и прикладные проблемы физики»], (Саранск, Россия, 28—30 мая, 2012 г.), 1. С. 68–72.
|
Текст
Download (2MB) | Preview |
Анотація
В статье идет речь об влиянии быстрого термического отжига и СВЧ на удельное сопротивление омических контактов к InP и GaAs
| Тип ресурсу: | Стаття |
|---|---|
| Класифікатор: | Q Наука > QC Фізика T Технологія > TK Радіотехніка. Атомна енергетика |
| Відділи: | Фізико-математичний факультет > Кафедра фізики та методики її навчання |
| Користувач: | С.В. Новицький |
| Дата подачі: | 04 Лют 2014 10:32 |
| Оновлення: | 15 Серп 2015 05:40 |
| URI: | http://eprints.zu.edu.ua/id/eprint/10534 |
Actions (login required)
 |
Оглянути опис ресурсу |
