Ткаченко, А. К., Новицкий, С. В., Шеремет, В. Н. (2012) Влияние быстрого термического отжига и СВЧ на удельное сопротивление омических контактов к InP и GaAs. Материалы конференции. [Международная научно-техническая конференция «Фундаментальные и прикладные проблемы физики»], (Саранск, Россия, 28—30 мая, 2012 г.), 1. с. 68-72.
|
Text
Download (2MB) | Перегляд |
Опис
В статье идет речь об влиянии быстрого термического отжига и СВЧ на удельное сопротивление омических контактов к InP и GaAs
| Тип елементу : | Стаття |
|---|---|
| Теми: | Q Наука > QC Фізика T Технологія > TK Радіотехніка. Атомна енергетика |
| Підрозділи: | Фізико-математичний факультет > Кафедра фізики та методики її навчання |
| Користувач, що депонує: | С.В. Новицький |
| Дата внесення: | 04 Лют 2014 10:32 |
| Останні зміни: | 15 Серп 2015 05:40 |
| URI: | http://eprints.zu.edu.ua/id/eprint/10534 |
Actions (login required)
 |
Перегляд елементу |
