Ткаченко А. К., Новицкий С. В. and Шеремет В. Н. (2012) Влияние быстрого термического отжига и СВЧ на удельное сопротивление омических контактов к InP и GaAs. Материалы конференции. [Международная научно-техническая конференция «Фундаментальные и прикладные проблемы физики»], (Саранск, Россия, 28—30 мая, 2012 г.). Т. 1. pp. 68-72.
Preview
Новицкий.pdf
Download (2MB) | Preview
Abstract
В статье идет речь об влиянии быстрого термического отжига и СВЧ на удельное сопротивление омических контактов к InP и GaAs
| Item Type: | Article |
|---|---|
| Subjects: | Q Science > QC Physics T Technology > TK Electrical engineering. Electronics Nuclear engineering |
| Divisions: | Faculty of Physics and Mathematics > Department of Physics and Methods of Its Teaching |
| Depositing User: | С.В. Новицький |
| Date Deposited: | 04 Feb 2014 12:32 |
| Last Modified: | 15 Aug 2015 08:40 |
| URI: | https://eprints.zu.edu.ua/id/eprint/10534 |
| ДСТУ 8302:2015: | Ткаченко А. К. and Новицкий С. В. and Шеремет В. Н. Влияние быстрого термического отжига и СВЧ на удельное сопротивление омических контактов к InP и GaAs. Материалы конференции. [Международная научно-техническая конференция «Фундаментальные и прикладные проблемы физики»], (Саранск, Россия, 28—30 мая, 2012 г.). 2012. Т. 1. pp. 68-72. |
Actions (login required)
- View Item