Хімічне полірування CdTe та твердих розчинів ZnXCd1-XTe і Cd1-XHgXTe водними розчинами HNO3–ні–тартратна кислота

Досліджено процеси хімічного розчинення монокристалів CdTe та твердих розчинів ZnxCd1-xTe і Cd0,2Hg0,8Te в водних розчинах HNO3–НІ–тартратна кислота. Визначено залежності швидкості травлення вказаних матеріалів від концентрації окиснювача та органічного розчинника і кінетичні
особливості процесу. Встановлено, що швидкість розчинення твердих розчинів Zn0,04Cd0,96Te, Zn0,1Cd0,9Te та Cd0,2Hg0,8Te в досліджуваних травильних сумішах сповільнюється із збільшенням вмісту
окислювача і тартратної кислоти. Оптимізовано склади поліруючих травників і режими хіміко-
динамічного полірування поверхні монокристалів досліджуваних напівпровідникових матеріалів.