Томашик В. М., Томашик З. Ф. and Кусяк Н. В. (2001) Хімічне травлення нелегованого та легованого InAs в розчинах системи HNO3–HBr–етиленгліколь. Фізика і хімія твердого тіла. Т. 2, № 4. pp. 631-636. ISSN 1729-4428.
0204-13.pdf
Download (256kB) | Preview
Abstract
Досліджено характер хімічного розчинення нелегованого та легованого оловом InAs в
розчинах системи HNO3-HBr-етиленгліколь. Побудовано поверхні рівних швидкостей травлення (діаграми Гіббса), з’ясовано кінетичні закономірності і визначено лімітуючі
стадії процесу розчинення та області поліруючих розчинів. Встановлено вплив легування на характер хімічного травлення арсеніду індію. На основі проведених експериментів
визначено концентраційні границі розчинів, які можна використовувати для різних хімічних обробок (полірування, селективне травлення) нелегованого та легованого оловом арсеніду індію.
| Item Type: | Article |
|---|---|
| Subjects: | Q Science > QD Chemistry |
| Divisions: | Faculty of Natural Sciences > Department of Chemistry |
| Depositing User: | Олександр Сергійович Яценко |
| Date Deposited: | 09 Apr 2015 16:59 |
| Last Modified: | 09 Apr 2015 17:08 |
| URI: | https://eprints.zu.edu.ua/id/eprint/16860 |
| ДСТУ 8302:2015: | Томашик В. М. and Томашик З. Ф. and Кусяк Н. В. Хімічне травлення нелегованого та легованого InAs в розчинах системи HNO3–HBr–етиленгліколь. Фізика і хімія твердого тіла. 2001. Т. 2, № 4. pp. 631-636. |
Actions (login required)
- View Item