Хімічне травлення поверхні монокристалів GaAs, GaSb, InAs та InSb травильними композиціями Н2О2–НBr–цитратна кислота

Шелюк І. О., Томашик З. Ф., Томашик В. М., Денисюк Р. О. and Стратійчук І. Б. (2011) Хімічне травлення поверхні монокристалів GaAs, GaSb, InAs та InSb травильними композиціями Н2О2–НBr–цитратна кислота. Питання хімії та хімічної технології. № 1. pp. 110-114. ISSN 0321-4095.

Item Type:	Article
Subjects:	Q Science > QD Chemistry
Divisions:	Faculty of Natural Sciences > Department of Chemistry
Depositing User:	Олександр Сергійович Яценко
Date Deposited:	10 Apr 2015 00:16
Last Modified:	10 Apr 2015 00:20
URI:	https://eprints.zu.edu.ua/id/eprint/16866
ДСТУ 8302:2015:	Хімічне травлення поверхні монокристалів GaAs, GaSb, InAs та InSb травильними композиціями Н2О2–НBr–цитратна кислота / І. О. Шелюк та ін. Питання хімії та хімічної технології. 2011. № 1. pp. 110-114.

Actions (login required)

View Item