Хіміко-динамічне полірування GaAs та GaSb травильними сумішами систем HNO3–HCl–розчинник

Томашик З. Ф., Чернюк О. С., Томашик В. М., Гриців В. І. and Кусяк Н. В. (2005) Хіміко-динамічне полірування GaAs та GaSb травильними сумішами систем HNO3–HCl–розчинник. Оптоелектроніка та напівпровідникова техніка. № 40. pp. 162-166. ISSN 0233-7577.

Item Type:	Article
Subjects:	Q Science > QD Chemistry
Divisions:	Faculty of Natural Sciences > Department of Chemistry
Depositing User:	Олександр Сергійович Яценко
Date Deposited:	10 Jun 2015 12:38
Last Modified:	10 Jun 2015 12:48
URI:	https://eprints.zu.edu.ua/id/eprint/17755
ДСТУ 8302:2015:	Хіміко-динамічне полірування GaAs та GaSb травильними сумішами систем HNO3–HCl–розчинник / З. Ф. Томашик та ін. Оптоелектроніка та напівпровідникова техніка. 2005. № 40. pp. 162-166.

Actions (login required)

View Item