Томашик З. Ф., Чернюк О. С., Томашик В. М., Гриців В. І., Кусяк Н. В. (2005) Хіміко-динамічне полірування GaAs та GaSb травильними сумішами систем HNO3–HCl–розчинник. Оптоэлектроника и полупроводниковая техника. № 40. С. 162–166. ISSN 0233-7577.
Preview
Tom_2005_162.pdf
Завантажити (188kB) | Preview
Тип ресурсу: | Стаття |
---|---|
Класифікатор: | Q Наука > QD Хімія |
Відділи: | Природничий факультет > Кафедра хімії |
Користувач: | Олександр Сергійович Яценко |
Дата подачі: | 10 Черв 2015 09:38 |
Оновлення: | 10 Черв 2015 09:48 |
URI: | https://eprints.zu.edu.ua/id/eprint/17755 |
ДСТУ 8302:2015: | Хіміко-динамічне полірування GaAs та GaSb травильними сумішами систем HNO3–HCl–розчинник / Томашик З. Ф. та ін. Оптоэлектроника и полупроводниковая техника. 2005. № 40. С. 162–166. |