Електронна бібліотека Житомирського державного університету

Хіміко-динамічне полірування GaAs та GaSb травильними сумішами систем HNO3–HCl–розчинник

Томашик З. Ф., Чернюк О. С., Томашик В. М., Гриців В. І., Кусяк Н. В. (2005) Хіміко-динамічне полірування GaAs та GaSb травильними сумішами систем HNO3–HCl–розчинник. Оптоэлектроника и полупроводниковая техника. № 40. С. 162–166. ISSN 0233-7577.

[thumbnail of Tom_2005_162.pdf]
Preview
Текст
Tom_2005_162.pdf

Завантажити (188kB) | Preview
Тип ресурсу: Стаття
Класифікатор: Q Наука > QD Хімія
Відділи: Природничий факультет > Кафедра хімії
Користувач: Олександр Сергійович Яценко
Дата подачі: 10 Черв 2015 09:38
Оновлення: 10 Черв 2015 09:48
URI: https://eprints.zu.edu.ua/id/eprint/17755
ДСТУ 8302:2015: Хіміко-динамічне полірування GaAs та GaSb травильними сумішами систем HNO3–HCl–розчинник / Томашик З. Ф. та ін. Оптоэлектроника и полупроводниковая техника. 2005. № 40. С. 162–166.

Дії ​​(потрібно ввійти)

Оглянути опис ресурсу
Оглянути опис ресурсу