Денисюк Р. О., Томашик В. М., Томашик З. Ф. and Гриців В. І. (2012) Хімічна взаємодія Cd1-xMnxTe з травильними композиціями Н2О2 – НІ – лактатна кислота. Фізика і хімія твердого тіла. Т. 13, № 2. pp. 410-414. ISSN 1729-4428.
CdMnTe_HNO3-HI-lactat_FCTT_2012.pdf
Download (187kB) | Preview
Abstract
У відтворюваних гідродинамічних умовах досліджено кінетику розчинення CdTe та Cd1-xMnxTe в
травниках системи НІ – Н2О2 – лактатна кислота. Побудовано поверхні однакових швидкостей розчинення
(діаграми Гіббса), встановлено області поліруючих, селективних та не поліруючих розчинів, визначено
лімітуючі стадії процесу полірування вказаних напівпровідників. Встановлено швидкості хіміко-механічного
полірування розчинами Н2О2 – НІ – лактатна кислота, визначено вплив розведення базових поліруючих
травників в’язкими розчинниками на поліруючі властивості та якість поверхні кристалів Cd1-xMnxTe.
| Item Type: | Article |
|---|---|
| Subjects: | Q Science > QD Chemistry |
| Divisions: | Faculty of Natural Sciences > Department of Chemistry |
| Depositing User: | Роман Олександрович Денисюк |
| Date Deposited: | 06 Dec 2012 12:07 |
| Last Modified: | 15 Aug 2015 05:39 |
| URI: | https://eprints.zu.edu.ua/id/eprint/8602 |
| ДСТУ 8302:2015: | Хімічна взаємодія Cd1-xMnxTe з травильними композиціями Н2О2 – НІ – лактатна кислота / Р. О. Денисюк та ін. Фізика і хімія твердого тіла. 2012. Т. 13, № 2. pp. 410-414. |


