Денисюк Р. О., Томашик В. М., Томашик З. Ф., Гриців В. І. (2012) Хімічна взаємодія Cd1-xMnxTe з травильними композиціями Н2О2 – НІ – лактатна кислота. Фізика і хімія твердого тіла, 13 (2). С. 410–414. ISSN 1729-4428.
CdMnTe_HNO3-HI-lactat_FCTT_2012.pdf
Завантажити (187kB) | Preview
Анотація
У відтворюваних гідродинамічних умовах досліджено кінетику розчинення CdTe та Cd1-xMnxTe в
травниках системи НІ – Н2О2 – лактатна кислота. Побудовано поверхні однакових швидкостей розчинення
(діаграми Гіббса), встановлено області поліруючих, селективних та не поліруючих розчинів, визначено
лімітуючі стадії процесу полірування вказаних напівпровідників. Встановлено швидкості хіміко-механічного
полірування розчинами Н2О2 – НІ – лактатна кислота, визначено вплив розведення базових поліруючих
травників в’язкими розчинниками на поліруючі властивості та якість поверхні кристалів Cd1-xMnxTe.
Тип ресурсу: | Стаття |
---|---|
Класифікатор: | Q Наука > QD Хімія |
Відділи: | Природничий факультет > Кафедра хімії |
Користувач: | Роман Олександрович Денисюк |
Дата подачі: | 06 Груд 2012 10:07 |
Оновлення: | 15 Серп 2015 02:39 |
URI: | https://eprints.zu.edu.ua/id/eprint/8602 |